等离子清洗机

真空等离子清洗机属于电子工业的干法清洗，在一定的真空条件下，对气体施加能量使其成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。